主要特点

碳化硅舟（光伏级）结构稳定，热稳定性好，可在高温下使用而不变形。碳化硅舟（半导体级）是具有高纯度基体和碳化硅薄膜的高纯度材料，可以避免杂质的引入，减少加工过程中对设备环境的污染，有效提高产品质量。

详细说明

光伏行业常用的石英舟支架和舟，由于其生产工艺和石英材料的特点，使用寿命仅为3-6个月。碳化硅船支架和船，而不是石英，可以使用长达5年或更长时间。它可以显著降低使用成本和因停产造成的生产能力损失的维护和维修。

适用范围

适用于光伏设备、半导体设备中晶圆的关键承重部件。

碳化硅舟用于半导体立式炉，主要用于高温氧化环节和高温退火环节。